plasma source ion implantation
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等离子体源离子注入
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1、
TiN coating for inner surface modification by grid enhanced plasma source ion implantation
内表面栅极等离子体源离子注入TiN薄膜及其特性研究
来源：互联网摘选 -
2、
Numerical simulation of collisional sheath evolution in plasma source ion implantation
等离子体源离子注入鞘层时空演化的研究
来源：互联网摘选
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